碳化硅生產(chǎn)流程中的核心環(huán)節(jié)是碳化硅襯底的加工，主要分為碳化硅襯底的切割、薄化、拋光三道工序。其中薄化主要通過磨削與研磨實現(xiàn)，研磨又分為粗磨和精磨。薩普新材自主研發(fā)的碳化硅晶片減薄砂輪與磨削技術(shù)，從磨削過程中的晶圓損傷機(jī)理，到晶圓的粗磨和精磨減薄，用金剛石砂輪實現(xiàn)低損傷和高切削速率的晶圓薄化加工。

一、 磨削過程中的晶圓損傷機(jī)理

二、 碳化硅晶圓減薄砂輪

1、加工工序

2、微觀形貌

3、性能特點

  4、高容屑排屑

4、應(yīng)用設(shè)備

  長沙市薩普新材料有限公司成立于2013年，是一家專注于粉末冶金新材料領(lǐng)域，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，湖南省專精特新“小巨人”企業(yè)、長沙市智能制造試點企業(yè)、湖南省新材料企業(yè)、湖南省第一批創(chuàng)新型中小企業(yè)。始終秉持“科技創(chuàng)新驅(qū)動經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展”理念，依托長江學(xué)者特聘教授、國務(wù)院政府特殊津貼專家、國家科技進(jìn)步一等獎獲得者、國家杰出青年基金獲得者——中南大學(xué)粉末冶金研究院賀躍輝教授領(lǐng)銜的精銳博士研發(fā)團(tuán)隊，致力于解決新材料“卡脖子”技術(shù)問題，實現(xiàn)進(jìn)口產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代。并與中南大學(xué)、湘潭大學(xué)、香港城市大學(xué)等高校建立了深度技術(shù)合作與交流，具備較強(qiáng)的科技創(chuàng)新與成果轉(zhuǎn)化能力。